勻膠機(jī)有很多(duō)種稱謂，英文叫SpinProcessor或者SpinCoater，又(yòu)稱甩膠機(jī)、勻膠台、旋轉塗膠機(jī)、旋轉塗膜機(jī)、旋轉塗層機(jī)、旋轉塗布機(jī)、旋轉薄膜機(jī)、旋轉塗覆儀、旋轉塗膜儀、勻膜機(jī)，總的來說，他們原理都是一(yī)樣的，既在高(gāo)速旋轉的基片上(shàng)，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上(shàng)的膠液均勻地塗覆在基片上(shàng)，厚度視不同膠液和基片間的粘滞系數而不同，也和旋轉速度及時間有關。
針對目前勻膠機(jī)市(shì)場品牌衆多(duō)的情況，綜合多(duō)年(nián)從(cóng)事(shì)勻膠機(jī)技(jì)術(shù)研究的實際經驗，為(wèi)幫助廣大用戶提高(gāo)辨别能(néng)力，下(xià)面為(wèi)大家提供直觀明确的選擇标準。從(cóng)其原理來說，我們可以看(kàn)出選購勻膠機(jī)需要注意的幾個(gè)細節：
1、真空吸附系統的構造
真空泵一(yī)定要無油的，壓力标定準确，國(guó)内生(shēng)産的無油真空泵實在不敢恭維。因為(wèi)任何的油污都可能(néng)堵塞真空管道，如果真空吸附力降低(dī)，會(huì)導緻基片吸附不住而産生(shēng)的情況，還(hái)會(huì)讓滴膠液不慎進入真空管道系統造成完全堵塞。用過國(guó)産勻膠機(jī)的客戶常常會(huì)關心怎麽清洗的問題，這一(yī)點許多(duō)國(guó)外的勻膠機(jī)做得不錯(cuò)，他們有通(tōng)過聯動機(jī)制，如果真空吸附力不夠的時候，不會(huì)開(kāi)始旋轉。
2、旋轉速度
轉速的快慢(màn)和控制精度直接關系到(dào)旋塗層的厚度控制和膜層均勻性。如果标示的轉速和電(diàn)機(jī)的實際轉速如果誤差很大，對于要求精密塗覆的科研人員(yuán)來說是無法獲得準确的實驗數據的。國(guó)産的某些勻膠機(jī)隻能(néng)提供轉速範圍，并不能(néng)精确标定實時的轉速。進口的勻膠機(jī)雖然大部分能(néng)标定轉速，但是大部分轉速精度沒有國(guó)際标準認定。建議購買轉速控制方面有國(guó)際認定标準的，比如：美國(guó)NIST标準等。
3、材質的選擇
對于半導體化工(gōng)行業(yè)的應用來說，材質的選擇尤為(wèi)關鍵，大部分勻膠機(jī)采用的是不鏽鋼或者普通(tōng)塑料材質，因為(wèi)這種材質的成本很低(dī)，不鏽鋼的對于各類化工(gōng)膠液的抗腐蝕性不太好，塑料對于較高(gāo)溫度和壓力下(xià)易産生(shēng)變形。如果這種變形引起托盤的位置失去水(shuǐ)平的話，将會(huì)導緻旋塗時，時高(gāo)時低(dī)的颠簸狀态。自(zì)然無法得到(dào)好的旋塗效果。目前有些國(guó)外品牌采用天然聚丙烯或者聚四氟乙烯(特氟隆)材質。這兩種材質具備綠色環保、節約資源、重量輕、強度大、抗沖擊性能(néng)好、堅固耐用、花紋自(zì)然、光(guāng)澤度好等優點。安賽斯（中國(guó)）有限公司提醒廣大客戶：在選購勻膠機(jī)的同時，一(yī)定要注意品牌和質量，價格其次，市(shì)場上(shàng)的勻膠機(jī)層次不齊，客戶在購買時要慎重考慮。
