勻膠機(jī)/旋塗儀有很多(duō)種稱謂,英文叫Spin Coater或者Spin Processor,又(yòu)稱甩膠機(jī)、勻膠台、旋轉塗膠機(jī)、旋轉塗膜機(jī)、旋轉塗層機(jī)、旋轉塗布機(jī)、旋轉薄膜機(jī)、旋轉塗覆儀、旋轉塗膜儀、勻膜機(jī),總的來說,他們原理都是一(yī)樣的,既在高(gāo)速旋轉的基片上(shàng),滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上(shàng)的膠液均勻地塗覆在基片上(shàng),厚度視不同膠液和基片間的粘滞系數而不同,也和旋轉速度及時間有關。 勻膠機(jī)盡管是一(yī)款原理比較簡單的實驗室小(xiǎo)型儀器(qì),但影響勻膠效果的卻有勻膠速度(speed)、勻膠時間(time)、勻膠加速度(acceleration)、控制精度(accuracy)等因素。其中最重要的就(jiù)是控制精度(accuracy),沒有控制精度,其他的設置都是虛無。這也是某些品牌勻膠機(jī)最緻命的問題所在。
安賽斯(中國(guó))有限公司提供的HC系列勻膠機(jī),采用進口電(diàn)機(jī)及觸屏控制系統,實現對轉速、時間和加速度的精确控制,轉速調節精度<1rpm,重複性< 1rpm,實現勻膠過程的高(gāo)精度和高(gāo)重複性。
最新升級的HC系列勻膠機(jī)有HC150PE,HC160PE,HC220PE等多(duō)個(gè)型号,滿足不同尺寸晶元的勻膠需求。 |