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三維雲紋幹涉儀全套
三維雲紋幹涉儀配機(jī)械加載架
産品簡介:
産品名稱:三維雲紋幹涉儀
應 用:該設備用于測量試件(jiàn)在機(jī)械或熱載荷作用下(xià)的三維熱機(jī)械變形場(面内的U,V場和離面的W場)。在電(diàn)子封裝領域,該設備是重要的失效分析手段。
主要技(jì)術(shù)參數:
(1)試件(jiàn)尺寸(測試範圍):φ3.5mm 至 φ35mm,10X變焦鏡頭記錄條紋圖像;
(2)原始測試分辨率:417nm (U、V場),266nm(W場),借助于相(xiàng)移技(jì)術(shù)可提高(gāo)100倍。
(3)微型加熱爐:内腔尺寸60mm見(jiàn)方,溫度範圍室溫-300C,升溫速度5-30°C 可調, 可維持在某一(yī)設定溫度點,波動範圍小(xiǎo)于1°C,内部均勻度優于3°C。
(4)光(guāng)學主機(jī)箱尺寸:300mm ´300mm´275mm,設備總重量:10Kg。
産品特色:
(1) 能(néng)同時将三個(gè)變形場的幹涉條紋圖顯示在計算(suàn)機(jī)屏幕上(shàng),每個(gè)圖像的分辨率都在百萬像素以上(shàng)(本公司的技(jì)術(shù)),并且能(néng)以每秒(miǎo)16-20幀的速率存儲在硬盤上(shàng)。
(2) 進口的核心光(guāng)學元件(jiàn)确保了高(gāo)質量的零場條紋和測試精度,帶有U,V場的相(xiàng)移功能(néng),W場相(xiàng)移功能(néng)可以選擇。
(3) 配備微型機(jī)械加載架和微型加熱爐,并且可固定在6維精密機(jī)械調節架上(shàng)以調整試件(jiàn)的方位。
(4) 配備相(xiàng)移處理軟件(jiàn),可以識别和處理試件(jiàn)上(shàng)的空洞等幾何不連續區域。
1. BGA器(qì)件(jiàn)的熱機(jī)械變形測試,失效分析
通(tōng)過雲紋幹涉法可以測量BGA器(qì)件(jiàn)橫截面上(shàng)的熱機(jī)械變形場,通(tōng)過測試可以發現,受切應變最大的焊球并不是整個(gè)器(qì)件(jiàn)最外側的那一(yī)個(gè),而是位于芯片下(xià)方最外側的那一(yī)個(gè)(左圖畫(huà)圈者)。進一(yī)步采用顯微雲紋幹涉法,可以跟蹤單個(gè)焊點在熱循環過程中的變形情況(右圖),根據一(yī)周循環過後的殘餘變形/應變以及相(xiàng)應的經驗公式,預估其疲勞壽命。
2. FCPBGA的熱機(jī)械和吸濕變形測試
除了熱失配造成的熱機(jī)械變形外,塑料封裝器(qì)件(jiàn)還(hái)會(huì)從(cóng)周圍環境中吸收濕氣并造成塑料的膨脹,從(cóng)而引起整個(gè)器(qì)件(jiàn)的變形和内部應力場的變化。三維雲紋幹涉儀記錄了FCPBGA從(cóng)熱機(jī)械變形到(dào)吸濕變形的全過程(曆時三個(gè)月(yuè))。見(jiàn)下(xià)圖:
在該應用中,三維雲紋幹涉儀發現了FCPBGA器(qì)件(jiàn)因塑料封裝材料的吸濕膨脹造成的器(qì)件(jiàn)翹曲翻轉,與FEM計算(suàn)結果配合揭示了高(gāo)分子封裝材料吸濕膨脹是造成相(xiàng)關失效(如UBM 開(kāi)裂)的機(jī)制。
三維雲紋幹涉系統配置及可選配件(jiàn)如下(xià):
主機(jī)系統 | 可選配件(jiàn) |
1. 光(guāng)學機(jī)箱(含532nm激光(guāng)器(qì)) | 1. 微型加載架(可施加拉伸/壓縮,三點/四點彎曲)+六維精密調節架+力傳感器(qì); |
2. 相(xiàng)機(jī)+10X變焦鏡頭+支架 | 2. 微型加熱爐(室溫-300C)+六維精密調節架; |
3. 光(guāng)場調節觀察筒+支架 | |
4. 電(diàn)腦(nǎo)及數據處理軟件(jiàn)啊 |
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