可編程精密勻膠機(jī)

可編程精密勻膠機(jī)

型号：HC150SE

HC150SE可編程精密勻膠機(jī)，采用高(gāo)級PLC 全自(zì)動程序控制，轉速精度高(gāo)，穩定性好。可用于微電(diàn)子、半導體、新能(néng)源、生(shēng)物(wù)材料、納米材料等領域高(gāo)精度薄膜塗層的制備。

特點：

l  設計緊湊，可輕松放(fàng)置在手套箱内使用。

l  HDPE高(gāo)分子材料旋塗内腔，耐腐蝕；采用分體式結構，易清洗和移動。

l  4.3英寸彩色觸屏控制，易學易用，可精确設置實驗參數，運行狀态實時顯示；

l  經CNC一(yī)體加工(gōng)成型的HDPE内腔，内腔壁采用凹面設計，有效防濺；

l采用高(gāo)級PLC程序控制，旋塗速度、旋塗時間、加速度等工(gōng)藝參數可編程，實現快速旋塗和多(duō)步編程旋塗；

l 具有電(diàn)機(jī)進膠保護功能(néng)；管路(lù)易疏通(tōng)結構設計；

l  轉速、加速度、時間、真空泵關/停、自(zì)動吸片、自(zì)動釋放(fàng)均可在觸屏上(shàng)操作。

l  可設置用戶密碼保護功能(néng)；

技(jì)術(shù)參數：

l  适用晶元尺寸範圍：Ø10~150mm；

l  旋塗速度：100~12000rpm；

l  轉速分辨率：1rpm；

l  旋塗加速度：100-30000rpm/s；

l  最大旋塗時間：3000s；

l  旋塗時間精度：0.1s；

l  内腔直徑212mm，内腔采用*的凹面防濺設計；

l  具備單步快速旋塗和多(duō)步編程旋塗，可編程10組程序，每組程序10步；

l  電(diàn)源輸入：AC200-230V

可編程精密勻膠機(jī)設備外形尺寸：長(cháng)X寬X高(gāo)：310X254X250mm