超聲波掃描顯微鏡雖然是顯微鏡家族中的*, 但由于其本身具有許多(duō)*的優點, 發展速度是很快的。下(xià)面我們來了解下(xià)它有哪些特點。
1、超聲波掃描顯微鏡分辨率較高(gāo), 通(tōng)過二次電(diàn)子象能(néng)夠觀察試樣表面6nm左右的細節, 采用LaB6電(diàn)子槍, 可以進一(yī)步提高(gāo)到(dào)3nm。
2、儀器(qì)放(fàng)大倍數變化範圍大, 且能(néng)連續可調。因此可以根據需要選擇大小(xiǎo)不同的視場進行觀察, 同時在高(gāo)放(fàng)大倍數下(xià)也可獲得一(yī)般透射電(diàn)鏡較難達到(dào)的高(gāo)亮度的清晰圖像。
3、觀察樣品的景深大, 視場大, 圖像富有立體感, 可直接觀察起伏較大的粗糙表面和試樣凹凸不平的金屬斷口象等, 使人具有親臨微觀世界現場之感。
4、樣品制備簡單, 隻要将塊狀或粉末狀的樣品稍加處理或不處理, 就(jiù)可直接放(fàng)到(dào)掃描電(diàn)鏡中進行觀察, 因而更接近于物(wù)質的自(zì)然狀态。
5、可以通(tōng)過電(diàn)子學方法有效地控制和改善圖像質量, 如亮度及反差自(zì)動保持, 試樣傾斜角度校正, 圖象旋轉, 或通(tōng)過Y調制改善圖象反差的寬容度, 以及圖象各部分亮暗(àn)适中。采用雙放(fàng)大倍數裝置或圖象選擇器(qì), 可在熒光(guāng)屏上(shàng)同時觀察放(fàng)大倍數不同的圖象。
6、超聲波掃描顯微鏡可進行綜合分析。裝上(shàng)波長(cháng)色散X射線譜儀(WDX) 或能(néng)量色散X射線譜儀 (EDX) , 使具有電(diàn)子探針的功能(néng), 也能(néng)檢測樣品發出的反射電(diàn)子、X射線、陰極熒光(guāng)、透射電(diàn)子、俄歇電(diàn)子等。把掃描電(diàn)鏡擴大應用到(dào)各種顯微的和微區的分析方式, 顯示出了掃描電(diàn)鏡的多(duō)功能(néng)。另外, 還(hái)可以在觀察形貌圖象的同時, 對樣品任選微區進行分析;裝上(shàng)半導體試樣座附件(jiàn), 通(tōng)過電(diàn)動勢象放(fàng)大器(qì)可以直接觀察晶體管或集成電(diàn)路(lù)中的PN結和微觀缺陷。由于不少掃描電(diàn)鏡電(diàn)子探針實現了電(diàn)子計算(suàn)機(jī)自(zì)動和半自(zì)動控制, 因而大大提高(gāo)了定量分析的速度。
