程控精密勻膠機(jī)

可編程精密勻膠機(jī)

型号：HC160PE

    HC160PE程控精密勻膠機(jī)，采用高(gāo)級PLC 全自(zì)動程序控制，轉速精度高(gāo)，穩定性好。可用于微電(diàn)子、半導體、新能(néng)源、生(shēng)物(wù)材料、納米材料等領域高(gāo)精度薄膜塗層的制備。

特點：

l  設計緊湊，可放(fàng)置在手套箱内；

l  4.3英寸彩色觸屏控制，人機(jī)界面；

l  不鏽鋼外殼，美觀耐腐蝕；

l  經CNC一(yī)體加工(gōng)成型的HDPE内腔，耐腐蝕，易清潔，帶排廢功能(néng)；

l  内腔壁采用*的凹面設計，有效防濺；

l  高(gāo)級PLC全自(zì)動程序控制，可編程；

l  帶真空度安全互鎖檢測功能(néng)；

l  帶蓋子安全互鎖檢測功能(néng)；

l  帶排廢接口；

l  配置一(yī)個(gè)自(zì)動點膠接口，可升級自(zì)動點膠系統；

l  可設置用戶密碼保護功能(néng)；

l  配置可調基座，方便調節水(shuǐ)平；

技(jì)術(shù)參數：

l  适用晶元尺寸範圍：Ø10~160mm；

l  旋塗速度：100~12000rpm；

l  轉速分辨率：1rpm；

l  旋塗加速度：100-30000rpm/s；

l  旋塗時間：3000s；

l  旋塗時間精度：0.1s；

l  内腔直徑220mm，内腔壁采用*的凹面防濺設計；

l  具備單步快速旋塗和多(duō)步編程旋塗，可編程100組程序，每組程序10步；

l  電(diàn)源輸入：AC200-230V；

設備外形尺寸：長(cháng)X寬X高(gāo)：310X254X250mm

HC160PE程控精密勻膠機(jī)

HC160PE程控精密勻膠機(jī)