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産品介紹:
名 稱:程控高(gāo)精度勻膠機(jī)
型 号:SC100-SE
應 用:程控高(gāo)精度勻膠機(jī),是一(yī)種超高(gāo)轉速精度,并帶有真空數顯傳感器(qì)和水(shuǐ)平數顯傳感器(qì)的高(gāo)精密高(gāo)檔勻膠設備。
産品概述:
SC100-SE程控勻膠機(jī)是一(yī)種超高(gāo)轉速、高(gāo)精度的旋轉勻膠設備,并帶有真空數顯傳感器(qì)和水(shuǐ)平數顯傳感器(qì),它可以實現價值百萬美元設備(track)的上(shàng)才可能(néng)達到(dào)穩定性和均勻性。
不鏽鋼外殼比塑料或者烤漆金屬更耐久和美觀;工(gōng)業(yè)級别200瓦伺服電(diàn)機(jī)系統,采用與track設備相(xiàng)同設計和程序,使您的工(gōng)藝更具有實際應用意義;同類産品中大達到(dào)50000RPM/S的旋轉加速度,确保旋轉勻膠的穩定性和*的可重複性。
性能(néng)參數:
l 主機(jī)機(jī)箱采用不鏽鋼材料(抗化學腐蝕易清潔)
l 旋塗程序:可擴展編輯和存貯到(dào)無限程序步驟
l 轉動速度:0-10,000rpm
l 旋塗加速度:0-50,000rpm/sec(空載)
l 轉速精度達到(dào)±0.1rpm,超高(gāo)轉速穩定性;
l 工(gōng)藝時間設定: 0-3,000 sec/step
l 時間設置精度:0.1sec
l 支持wafer尺寸1cm-200mm(8"圓晶)
l 旋塗作業(yè)均勻性:< ±3% 在6英寸範圍内(需要去除邊緣3毫米區域測量)
産品特點:
l 内部緊湊設計,縮小(xiǎo)了設備的尺寸。
l 7"觸屏控制面闆操作系統,更方便操作。
l Telon ®/polyethylene “密閉碗"設計可适合各種材料勻膠工(gōng)藝。
l 采用工(gōng)業(yè)級别伺服電(diàn)機(jī),電(diàn)機(jī)設計避免光(guāng)刻膠等污染物(wù)進入電(diàn)機(jī)内部。
l 機(jī)身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不鏽鋼,生(shēng)鏽,便于清洗。
l 透明可視,耐化學腐蝕的密封蓋,可以在旋塗作業(yè)時*隔絕光(guāng)刻膠的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發。
l 數顯真空壓力傳感器(qì),真空值數字顯示,壓力開(kāi)關值可設置;
l 數顯水(shuǐ)平度傳感器(qì),實時顯示載物(wù)盤面的水(shuǐ)平度,可通(tōng)過底腳進行調節;
l 自(zì)帶四個(gè)自(zì)動點膠端口,更多(duō)端口控制可升級。
産品外型尺寸:
433mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 标準設備結構
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