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産品介紹:
名 稱:安賽斯程控勻膠機(jī)
型 号:12英寸
應 用:安賽斯程控勻膠機(jī)勻膠機(jī)是一(yī)種小(xiǎo)型、靈活和經濟的旋轉勻膠設備,它可以實現價值百萬美元設備(track)的上(shàng)才可能(néng)達到(dào)穩定性和均勻性。
産品概述:
安賽斯程控勻膠機(jī)是一(yī)種小(xiǎo)型、靈活和經濟的旋轉勻膠設備,它可以實現價值百萬美元設備(track)的上(shàng)才可能(néng)達到(dào)穩定性和均勻性。
不鏽鋼外殼比塑料或者烤漆金屬更耐久和美觀;工(gōng)業(yè)級别400瓦伺服電(diàn)機(jī)系統,采用于track設備相(xiàng)同設計和程序,使您的工(gōng)藝更具有實際應用意義;同類産品中大達到(dào)50000rpm/s的旋轉加速度,确保旋轉勻膠的穩定性和*的可重複性。
性能(néng)參數:
l 主機(jī)機(jī)箱采用不鏽鋼材料(抗化學腐蝕易清潔)
l 旋塗程序:多(duō)存100組程序,每組100步,每個(gè)步驟可達到(dào)0.1秒(miǎo)
l 轉動速度:0-5,000rpm(更高(gāo)速可選),考慮重片或大片旋塗安全性限定為(wèi)5000rpm
l 旋塗加速度:0-10,000rpm/sec(更高(gāo)可選),考慮重片或大片旋塗安全性限定為(wèi)10000rpm/s
l 馬達旋塗轉速穩定性能(néng)誤差 < ±1rpm
l 轉速調節精度<1rpm,重複性< 1rpm
l 工(gōng)藝時間設定: 0-3,000 sec/step,時間設置精度:0.1sec
l 支持wafer尺寸1cm-300mm(12“圓晶)
l 旋塗作業(yè)均勻性:< ±3% 在6英寸範圍内(需要去除邊緣3毫米區域測量)
産品特點:
l 内部緊湊設計,縮小(xiǎo)了設備的尺寸。
l 7"觸屏控制面闆操作系統,更方便操作。
l Telon ®/polyethylene “密閉碗"設計可适合各種材料勻膠工(gōng)藝。
l 标準配置轉速5000rpm,并可根據用戶需要進行定制。
l 采用工(gōng)業(yè)級别伺服電(diàn)機(jī),電(diàn)機(jī)設計避免光(guāng)刻膠等污染物(wù)進入電(diàn)機(jī)内部。
l 機(jī)身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不鏽鋼,不會(huì)生(shēng)鏽,便于清洗。
l 透明可視,耐化學腐蝕的密封蓋,可以在旋塗作業(yè)時*隔絕光(guāng)刻膠的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發。
産品外型尺寸:613mm(D) * 463mm(W) * 306mm(H)
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