可編程旋塗儀/勻膠機(jī)

産品介紹：

名  稱：可編程精密勻膠機(jī)HC220PE

型  号：HC220PE

應  用：HC220可編程旋塗儀/勻膠機(jī)，采用高(gāo)精度工(gōng)業(yè)伺服電(diàn)機(jī)，配置8英寸人機(jī)界面，清晰的編程程序界面設置，易學易用。适合半導體行業(yè)及科研院所，實驗室級的研究開(kāi)發。适合8英寸及以下(xià)尺寸晶元旋塗，是一(yī)種小(xiǎo)型、靈活和經濟的旋轉勻膠設備，它可以實現價值百萬美元設備（track）的上(shàng)才可能(néng)達到(dào)穩定性和均勻性。

産品概述：

　　HC220可編程旋塗儀/勻膠機(jī)，采用高(gāo)級PLC 模塊，工(gōng)業(yè)級伺服電(diàn)機(jī)，全自(zì)動程序控制，轉速精度高(gāo)，穩定性好。可用于微電(diàn)子、半導體、新能(néng)源、生(shēng)物(wù)材料、納米材料等領域高(gāo)精度薄膜塗層的制備。
　　設備采用工(gōng)業(yè)級别200瓦伺服電(diàn)機(jī)系統，采用與track設備相(xiàng)同設計和程序，使您的工(gōng)藝更具有實際應用意義；同類産品中最大達到(dào)50000RPM/S的旋轉加速度，确保旋轉勻膠的穩定性和可重複性。

性能(néng)參數：

l  旋塗程序：采用與track設備類似的程序與設計，最多(duō)可存100組程序，每組100步，每個(gè)步驟可精确到(dào)0.1秒(miǎo)；

l  電(diàn)機(jī)速度：0-10,000rpm；

l  旋塗加速度：0-50,000rpm/sec（空載）；

l  馬達旋塗轉速穩定性能(néng)誤差 < ±1rpm；

l  轉速調節精度<1rpm；

l  重複性< 1rpm；

l  工(gōng)藝時間設定： 0-3,000 sec/step；

l  時間設置精度：0.1sec；

l  支持wafer尺寸1cm-200mm（8"圓晶）；

l  旋塗作業(yè)均勻性：< ±3% 在6英寸範圍内（需要去除邊緣3毫米區域測量）；

産品特點：

l  用高(gāo)級PLC模塊，工(gōng)業(yè)級伺服電(diàn)機(jī)；

l  8英寸彩色觸屏控制，人機(jī)界面；

l HDPE高(gāo)分子内腔，耐腐蝕，易清潔，帶排廢功能(néng)；

l内腔壁采用凹面設計，有效防濺；

l可編程寫和存儲100組程序，每組100步；

l帶真空度安全互鎖檢測功能(néng)；

l帶蓋子安全互鎖檢測功能(néng)；

l帶排廢接口；

l具有電(diàn)機(jī)進膠保護功能(néng)；

l管路(lù)易疏通(tōng)設計；

l具有真空不足提示及保護功能(néng)，具有斷電(diàn)後參數自(zì)動保存功能(néng)；

l正、反轉旋塗方向可自(zì)由切換；

l旋塗參數可設置循環執行；

l速度-時間曲線實時顯示；

l配置四個(gè)自(zì)動點膠接口，可升級多(duō)路(lù)自(zì)動點膠系統；

l可設置用戶密碼保護功能(néng)；

l配置可調基座，方便調節水(shuǐ)平；

          不同尺寸的載物(wù)盤

産品外型尺寸：
       444mm(D) * 300mm(W) * 300mm(H)