精密旋塗儀

産品介紹：

名     稱：精密旋塗儀HC160

型     号：HC160

應   用：精密旋塗儀采用高(gāo)級PLC 全自(zì)動程序控制，轉速精度高(gāo)，穩定性好。可用于微電(diàn)子、半導體、新能(néng)源、生(shēng)物(wù)材料、納米材料等領域高(gāo)精度薄膜塗層的制備。

産品概述：

　　HC160精密旋塗機(jī)被設計為(wèi)塗膠處理基片尺寸為(wèi)Ø5mm~160mm或對應的，使用工(gōng)業(yè)級直流馬達和PLC控制，4.3英寸全彩觸屏人機(jī)界面操作，簡單易用。勻膠機(jī)在材料、化學或生(shēng)物(wù)等實驗室被廣泛用于薄膜制備，納米薄膜研究等相(xiàng)關領域。
　　靈巧型勻膠機(jī)設計标準為(wèi)結構緊湊、簡單易用，程控操作，且能(néng)夠升級自(zì)動點膠功能(néng)，尺寸上(shàng)可從(cóng)通(tōng)用的手套箱過渡艙内進出，具有優異的性價比。亦可提供分體式設計，進行嵌入式安裝，與手套箱進行配合。

性能(néng)參數：

• 适用晶元尺寸範圍：Ø5~160mm；

• 旋塗速度：100~12000rpm；轉速分辨率：1rpm；

• 旋塗加速度：100-30000rpm/s；

• 最大旋塗時間：3000s；旋塗時間精度：0.1s；

• 内腔直徑220mm，内腔壁采用凹面防濺設計；

• 具備單步快速旋塗和多(duō)步編程旋塗，可編程100組程序，每組程序10步；

• 電(diàn)源輸入：AC200-230V；

産品特點：

• 設計緊湊，可放(fàng)置在手套箱内；

• 5英寸彩色觸屏控制，人機(jī)界面；

• 一(yī)體加工(gōng)成型的HDPE内腔，耐腐蝕，易清潔；内腔壁采用凹面設計，有效防濺；

• 高(gāo)級PLC全自(zì)動程序控制，可編程；

• 帶真空度安全互鎖檢測功能(néng)；帶蓋子安全互鎖檢測功能(néng)；

• 具有電(diàn)機(jī)進膠保護功能(néng)；管路(lù)易疏通(tōng)設計；具有真空不足提示及保護功能(néng)，具有斷電(diàn)後參數自(zì)動保存功能(néng)。  

• 帶一(yī)路(lù)自(zì)動點膠接口，可升級自(zì)動點膠系統；

• 可設置用戶密碼保護功能(néng)；

• 配置可調基座，方便調節水(shuǐ)平；

産品外型尺寸：

　　358mm(D)*252mm(W)*255mm(H)

                HDPE高(gāo)分子材料耐腐蝕内腔

        HDPE高(gāo)分子内腔及載物(wù)盤